Industri Mikroelektronika

Karakteristik air limbah industri elektronik

Komponen kompleks: air limbah industri elektronik terutama berasal dari proses etsa, pembersihan, pengembangan, pengupasan papan sirkuit, dan proses lainnya, yang mengandung ion logam berat (seperti tembaga, nikel, timbal, kadmium, kromium, dll.), fluorida, amonia dan nitrogen, pelarut organik (seperti alkohol, keton, hidrokarbon terhalogenasi, dll.), surfaktan, serta asam dan alkali konsentrasi tinggi dan polutan lainnya, komposisi kompleksitas dan konsentrasinya berbeda.

Beracun dan berbahaya: banyak ion logam berat dan polutan organik dalam air limbah industri elektronik bersifat persisten, bioakumulatif, dan beracun; jika tidak diolah dengan benar dan dibuang langsung, mereka akan sangat membahayakan lingkungan ekologis dan kesehatan manusia.

Fluktuasi nilai pH: Proses produksi industri elektronik menggunakan lebih banyak bahan kimia asam dan alkali, yang mengakibatkan berbagai perubahan pada nilai pH air limbah, yang membuat pengolahan air limbah agak sulit.

Proses pengolahan air limbah industri elektronik

Pengolahan fisikokimia: Pertama, melalui jaringan, pengendapan, flotasi udara, dan cara lain untuk menghilangkan padatan tersuspensi dan partikel besar dalam air limbah. Untuk ion logam berat, penggunaan umum metode pengendapan kimia atau pertukaran ion, seperti menambahkan presipitasi untuk membentuk presipitasi logam berat atau sulfida atau penggunaan resin penukar ion untuk menyerap ion logam berat. Air limbah asam dan alkali disesuaikan dengan nilai pH menggunakan metode netralisasi.

Pengolahan biologis: Teknologi pengolahan biologis, seperti lumpur aktif dan oksidasi kontak biologis, dapat mendegradasi bahan organik menggunakan metabolisme mikroba dalam air limbah yang mengandung polutan organik.

Teknologi oksidasi tingkat lanjut: Untuk beberapa polutan organik yang sulit diurai secara biologis, teknologi oksidasi tingkat lanjut seperti oksidasi Fenton, oksidasi ozon, oksidasi elektrokimia, dll., dapat digunakan untuk mengubah polutan organik menjadi molekul kecil yang tidak beracun atau tidak beracun dan untuk meningkatkan biokimia air limbah.
Teknologi pemisahan membran: Ultrafiltrasi, reverse osmosis, nanofiltrasi, dan teknologi pemisahan membran lainnya dapat secara efektif menghilangkan partikel kecil, koloid, dan bahan organik terlarut dari air limbah untuk mencapai pemurnian yang mendalam.
Pemulihan Sumber Daya dan Pemanfaatan Komprehensif: Karena industri elektronik, beberapa air limbah mengandung logam mulia, seperti tembaga, emas, perak, dll. Elektrolisis, ekstraksi, adsorpsi, dan metode lainnya dapat digunakan untuk memulihkan dan memanfaatkan sumber daya yang berharga ini.

Proses Pengolahan
Sistem air ultramurni semikonduktor
Standar:

• Asosiasi Internasional Peralatan dan Bahan Semikonduktor (International Association of Semiconductor Equipment and Materials, SEMl), versi terbaru dari standarnya untuk SEMIF63-0918
• Peta Jalan Teknologi Internasional untuk semikonduktor (ITRS). Versi terbaru standarnya adalah ITRS 2015
• American Society for Testing Materials (ASTM), versi terbaru standarnya adalah ASTM D5127-13 (2018).

TEKNOLOGI INTI

Aliran Proses

Karakteristik Proses

1. Sistem praperlakuan yang inovatif: mewujudkan sistem praperlakuan dengan konsumsi bahan kimia rendah;
2. Sistem EDI khusus: mewujudkan konsumsi bahan kimia yang sangat rendah dan produksi air silika-boron bermutu PPT yang sangat tinggi;
3. Sistem resin penghilang silikon-boron khusus: mewujudkan kebutuhan air ultramurni kelas 1-5PPT;
4. Sistem pengujian berkelanjutan: mewujudkan pemantauan kualitas air sistem secara real-time;
5. BIM: memungkinkan visualisasi desain dan konstruksi untuk mencapai implementasi efisiensi lokasi yang efisien;
6. Desain cerdas: Desain modular yang cerdas, menyiapkan pusat data cloud, memungkinkan operasi tanpa pengawasan, serta peringatan dini dan pemeliharaan preventif.

Sistem Limbah Semikonduktor

TEKNOLOGI INTI

Aliran Proses

Karakteristik Proses

1. Sistem pemisahan dan daur ulang kualitas yang inovatif: Mewujudkan klasifikasi air limbah asam dan alkali/organik/anorganik yang dapat didaur ulang dan mewujudkan sistem pembuangan limbah nol di area dengan permintaan tinggi;
2. Sistem dosis cerdas: untuk mewujudkan dosis yang tepat, tahan benturan, dosis tepat untuk mengantisipasi perubahan tren, mengurangi jumlah bahan kimia dan lumpur, dan menstabilkan kualitas air yang diproduksi;
3. Sistem defluoridasi khusus: mewujudkan persyaratan kualitas air limbah tingkat 1-3ppm dan menghemat 30% biaya operasi;
4. BIM: memungkinkan visualisasi desain dan konstruksi untuk mencapai implementasi efisiensi lokasi yang efisien;
5. Pemulihan logam bernilai tinggi: membran pengangkat membran khusus dan resin khelasi untuk mewujudkan pemulihan logam bernilai tinggi dari air limbah;
6. Penggilingan sistem daur ulang air limbah: Mewujudkan 90% daur ulang air limbah BG/DS/CMP dan mewujudkan sistem daur ulang air limbah ultra-tinggi.
7. Sistem konsentrasi tinggi: sebagai prakonsentrasi evaporator, kadar garam dalam air pekat dapat mencapai 10%-18%, sehingga mengurangi biaya investasi dan pengoperasian evaporator;
8. Pemulihan sumber daya: memulihkan garam kelas industri, pengolahan membran multi-tahap, realisasi nyata dari nol pembuangan air limbah;
9. Desain cerdas: desain modular yang cerdas, membentuk pusat data cloud untuk mencapai peringatan dini dan pemeliharaan preventif tanpa pengawasan.

Kasus:
Xxx Semiconductor Limited (Pengemasan Canggih, Nol Pelepasan + Air Ultramurni)
Profil Klien: Dengan sistem dan standar manufaktur chip front-end IC, kami berkomitmen untuk menyediakan layanan manufaktur dan pengujian wafer kelas menengah berkualitas tinggi dan lebih jauh mengembangkan bisnis chip integrasi sistem 3D canggih untuk melayani pelanggan global.

Profil Proyek: Ini mencakup sistem pengolahan air limbah nitrogen dan fosfor yang dihasilkan dalam proses produksi, pengolahan air limbah elektroplating, dan air limbah setelah pengolahan, yang semuanya kembali ke persiapan air baku sistem air murni nitrogen dan fosfor dan sistem air ultramurni. Telah menyelesaikan pembangunan beberapa set air ultramurni, pasokan air, dan kualitas air setelah memenuhi standar.

Indikator air: resistivitas ≥ 18,2MΩ-cm, TOC ≤ 10ppb

Proses utama:
Praperlakuan + biokimia + MBR + pemisahan membran multi-tahap + kristalisasi penguapan (nol pelepasan)
Praperlakuan + RO dua tahap + EDI + pengolahan halus pemolesan + filtrasi terminal (air ultramurni)